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プラズマ機器電源

プラズマは、放電現象として照明器具、溶接、エッチング、薄膜形成等の加工技術に広く利用されています。
プラズマ発生方法の一つとして高電圧や高周波の印加により発生することが可能。

製品ラインナップ

製品イメージ 製品名 説明
最大250Wまでの直流高圧電源。高安定性を重視した製品。UL、IEC規格取得品。
最大100kVの直流高圧電源や800V/10kWのプラズマDC電源をラインナップ。
負荷変動の大きい用途には、フォールドバック機能により反射を検出し自動的に出力を下げる機能が標準装備。
各種マイクロ波プラズマ装置では、2.45GHzの高周波電源、マグネトロンなど周辺機器の提供が可能。
保護用高電圧ダイオード、サージアドソバを取り揃えております。
プラズマ発生の為、数pFの高速立上りに加え、最大PRF100kHz、超低ジッタ、ギガワット対応可能。
高電圧・高電力抵抗対応可能。
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