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イオン注入装置

目的とする元素のイオンを発生させ、イオンを電気的に加速し、対象物であるターゲットにイオン注入する加工方法。

製品ラインナップ

製品イメージ 製品名 説明
高電圧・高電力タイプ。加速電源、引出し電源として使用可能。最大50kVで1kW~50KWまで対応可能。
コイル用途等大電流用途として7.5V~600V、200W~15kWまで対応可能。
高電圧・大電流タイプ。フィラメント、加速、引出し電源として使用可能。最大100kVの高電圧タイプや最大100Aまで対応可能。
保護用高電圧ダイオードとして使用可能。
標準で5×10-4電流安定度/リップル精度を実現した電磁石用スイッチングタイプ直流電源。
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