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RFパラメータ測定器

チャンバ装置のインピーダンスを測定することで、RF電源とチャンバー間の整合が容易に可能となる。更に高調波成分を測定することでプロセス変化を認識することが可能です。

製品ラインナップ

製品イメージ 製品名 説明
サブストレートとイオンの相互作用の計測
ウエハ基板表面を叩くイオンエネルギーの均一性/イオンの入射角分の均一性/イオン・ニュートラル・フラクション/イオン種(質量)の均一性を測定
バルクプラズマパラメータ測定
汎用的なプローブの他に、反応し易い絶縁ガスが使用されていてもプラズマ中で使用可能なプローブ、磁束の時間変化率を測定するプローブがあります。
プラズマ電力の測定
プラズマの電力測定及びプラズマ診断を行うインラインで使用されるシステム
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