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Advanced Energy

Advanced Energy

Advanced Energy社(AE社)は、1981年に設立されて以来30年以上にわたり半導体、産業用途向けに画期的かつ高性能なスパッタ用DC電源/パルス電源/RF電源を提供し続けているメーカーです。
現在、北米、ヨーロッパ、アジア各地にAE社の高精度電源制御技術ならびにアプリケーション技術は、薄膜その他工業製品の製造と密接な関わりを持ち、絶え間ない技術革新を行うと共に様々な産業に対応する応答性に優れた最新の電源システムと迅速なサービスをご用意しています。

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製品ラインナップ

DC電源

シリーズ 特徴 電力
Ascent® pdf 最新のアーク制御(Arc Management System™)
技術を実装したDC電源
30kW,40kW,60kW
Pinnacle® pdf 業界で最も低い蓄積エネルギー、
最高速のアーク遮断反応、
さらに最も広い最大出力運転インピーダンス範囲を
実現したDC電源
6kW,10kW,
12kW,20kW
6kW Dual,
10kW Dual
Solvix® 多彩な出力電力、周波数や通信オプションが
選択可能なDC及びDCパルス電源
3kW,6kW,
10kW,10kW Dual,
15kW,15kW Dual,
20kW,30kW, 40kW 
MDX(500W) pdf 真空環境での厳しい連続使用条件にも
耐えるように設計されたDC電源
500W
MDX(1kW、1.5kW) pdf 厳しい規制への適合、優れたアーク消去効果、
低い蓄積出力エネルギーを特長とするDC電源
1kW,1.5kW

パルスDC電源

シリーズ 特徴 電力 周波数
Pinnacle® Plus+
(ユニポーラパルス)pdf
卓越したアーク制御技術により高いデポジション率、
より優れた再現性、ならびに卓越したフィルム品質を
実現できるパルス電源
5kW,
5kW Dual,
10kW,HALO
5~350kHz
Solvix® Arc 多彩な出力電力、周波数や通信オプションが選択可能でさらに最高品質のアーク制御技術により、より高品質な膜を生成することができるDC及びDCパルス電源 15kW,30kW 1~200Hz (optional)
Solvix® Bias 3kW,6kW,
10kW,15kW,
30kW
1~350kHz (optional)
Ascent® AMSpdf 最新のアーク制御(Arc Management System™)技術を
実装したDC電源
30kW,
40kW,
60kW
-
Ascent® AMS
⇒Ascent® DMS Accessorypdf
最新のアーク制御(Arc Management System™)技術を
実装したAscent® AMSのDC出力を
バイポーラパルス化するアクセサリ
40kW,
60kW,
120kW
500Hz~50kHz
入力:400VAC
Ascent® APpdf Ascent® AP(Advaced Pulse)製品は、
特許を取得しているパルステクノロジーを搭載した
デュアル・シングルマグネトロンスパッタ用に
開発されたパルス電源です。
15kW,
30kW
-
Ascent® AP DMS(バイポーラ)pdf 30kW 0.5~150kHz
Ascent® AP SMS(ユニポーラ)pdf 30kW 0.5~150kHz

AC電源

シリーズ 特徴 電力 周波数
PEIIpdf アーク制御の強化と電源内部での整合機能を特長とする
パルス幅変調(PWM)機能を採用した40kHz電源装置であり、
トランスのような外付けのハードウェアを組み合わせなくても
最大で60kWの電力を供給できるAC電源です。
5kW,10kW 40kHz

RF電源

シリーズ 特徴 電力 周波数
Paramount® MF シリーズpdf 3kW、13.56MHz(固定/可変周波数)ハーフラック型Paramount® RF電源装置は、50Ω/非50Ω負荷時(VSWR>3:1)に高精度の測定・制御を実現する
強化型の電力・インピーダンス測定システムを搭載しています
2~8kW 400kHz~2MHz
Paramount® HFシリーズpdf 1.5~6kW 13.56MHz
Paramount® VHFシリーズpdf 3~7kW 27~60MHz
PDX® シリーズpdf 高出力(5000Wおよび8000W)中周波電源装置PDX®シリーズは、
効率性に優れ、簡単に組み込める小型の電源装置で、
様々な種類のプロセスアプリケーションに対応できます。
5kW~8kW 330~460kHz
Cesar® シリーズpdf 様々な特長や性能をユニークに組み合わせが可能で
品揃えが豊富なRF電源
(2、4、13.56、27.12または40.68MHz/0.3~5kW/
各種ユーザーインタフェース、入力オプション有り)
300W~5kW 2~40.68MHz

マッチングネットワーク

シリーズ 特徴 電力 周波数
Navigator®pdf 15W~10kWの電力を広範囲な負荷インピーダンスに
高い信頼性で高速かつ正確にマッチングするための
最新技術が搭載された自動整合器
~10kW 13.56~60MHz
Navio™pdf 複数のパワーレンジと周波数で利用が可能で、
速く、正確に、そして、リピード精度良く
プラズマの複雑なインピーダンスを
自動的に整合する自動整合器
1kW,3kW,5kW 13.56~60MHz
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