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MAGPULS

YAMAHA

マグパルス社はスパッタ用を始めPECVD成膜、表面処理、エッチング等プラズマ処理の先端をいく高出力インパルスプラズマ(HIPIMS/HPPMS)電源のメーカです。
反応性スパッタ装置、ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングやHiPIMSと呼ばれる非常にイオン化されたプラズマ放電分野で最先端の電源を開発し続けています。

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