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MECHANICAL DEVICES社 デバイス温度試験装置

デバイスの不良解析・特性解析のための オールインワン
温度サイクルシステム

FlexTC / MaxTC /
MaxTC Power Plus / ECO Cool

MaxTC Power Plus

案件にピッタリの
デバイス温度試験装置を
ご提案いたします。

半導体産業や半導体メーカー、
チップデバッグ及びテストラボ、
半導体ベンチャー企業やファブレス企業など、
様々な現場で活用されるデバイス温度試験装置。
コンパクトで場所を選ばない様々なシーンでご活用いただけるデバイス温度試験装置のご案内です。

製品特長

静音・コンパクトな本体
会議室やオフィスでも
使用可能

  • FlexTC
  • MaxTC
  • MaxTC Power Plus

FlexTCは本体サイズ:42cm x 32cm x 22cm とコンパクトで、デスクトップとして最適なサイズで40dBAと静かで快適な実験環境を実現します。
重量も22kgと持ち運び及び移動に適しております。
またFlexTCは100Vで動作するので、会議室やオフィスビル等のコンセントでご使用頂けます。

外付け装置不要で
液漏れ等の心配なし

  • FlexTC
  • MaxTC
  • MaxTC Power Plus

冷却のためのチラーやコンプレッサなどの外付け装置が不要なため、
液漏れ等を心配することは無く、テスターや量産環境での使用に適しています。
ICデバイスの冷却時のみ、霜・結露対策としてCDA等のドライエアーを併用を推奨します。
装置本体に外付けでドライエアーを装着して起動させると、設定温度に応じてサーマルヘッドのノズルからICデバイス周辺にドライエアーを注入されて結露を防止します。

直接接触で迅速な冷却・加熱、高精密な温度センサ

  • FlexTC
  • MaxTC
  • MaxTC Power Plus

各製品は温度調節プレート(デバイスプランジャー)をICデバイスに直接接触させるダイレクトコンタクト方式のため、迅速に冷却または加熱が可能となり、デバイスプランジャー内部の校正された温度センサで、高精度にICデバイスのケース温度を管理設定します。
デバイスプランジャーはご要求設定に合わせて交換可能です。

ハイパワータイプでさらに迅速な冷却・加熱が可能

  • FlexTC
  • MaxTC
  • MaxTC Power Plus

200Vで稼働するハイパワータイプの温度コントロールシステムで、より短い時間で冷却または加熱が可能となります。
さらにMaxTC Power Plusはクーリングパワーに特化した性能があり、グラフィック系ICデバイス等の高発熱ICデバイスを短時間で冷却して低温テストを可能にします。

製品詳細情報
FlexTC

MECHANICAL DEVICES社製 コンパクトで持ち運びにも
最適な温度試験装置

FlexTC

厳しい基準に対応するために設計された温度試験装置

不具合解析やのデバイス特性解析に求められる厳しい基準に対応するために設計された温度試験装置です。半導体メーカー、チップデバッグ及びテストラボ、半導体ベンチャー企業やファブレス企業で活用されています。

システム概要

最大温度 +155℃
最小温度 -50℃
温度精度 ± 0.2℃
標準温度切替時間 < 2 min(+25℃ → -40℃)
< 3 min (-40℃ → +125℃)
< 2 min (+125℃ → +25℃)
温度センサー PT100サーミスタ/
サーマルダイオード/
Kタイプサーモカップル
リモート
インターフェース
イーサネット(TCP/IP)、
RJ-45
システムインジケータ
及び安全装置
サーマルヘッド温度過上昇、
ファン操作、クーリングユニット操作
アクチュエーションタイプ
(IC加圧、オプション)
空圧式クリップ
オンアクチュエータ
アクチュエーション荷重
(IC加圧、オプション)
~70Kgf
騒音 40dBA
ICデバイス寸法 2~40mm

寸法・重量

本体寸法 W320 x H220 x L420mm
本体質量 22 kg
サーマルヘッド ラウンドタイプ:直径80mm
スクエアタイプ:73x43x73mm
サーマルヘッドホース ~2m

電源・環境

電源 100~240VAC、50/60Hz、
単層、最大10A、プラグ:C14
CDA < 0.5 CFM@0.05-0.2MPa(0.5-Bar)
動作温度 -10℃ ~ +45℃
露点温度 -40 ~ -50℃
MaxTC

MECHANICAL DEVICES社製 FlexTC 後継機のハイパワーシリーズ

MaxTC

業界最高の冷却パワー
(-40℃@90W(Tc))
半導体産業で必要な全クーリング、ヒーティングをカバー

FlexTCの後継機のハイパワーシリーズとして設計され、ポータブル、低音操作、フルードフリー(液体不使用)テクノロジーの全特徴を備えています。

システム概要

最大温度 +175℃
(オプション+200℃)
最小温度 -70℃
温度精度 ±0.2℃
標準温度切替時間 < 2 min (25℃ → -40℃)
< 1 min (25℃ → +125℃)
温度センサー PT100サーミスタ/
サーマルダイオード/Kタイプサーモカップル
温度校正 ソフトウェアの校正
リモート
インターフェース
イーサネット(TCP/IP)、
RJ-45
システムインジケータ及び安全装置 サーマルヘッド温度過上昇、
ファン操作、クーリングユニット操作
急速サーマル
サイクルレート
最大75℃/min、
特定範囲のみ
アクチュエーションタイプ
(IC加圧、オプション)
空圧式クリップオンアクチュエータ
アクチュエーション荷重
(IC加圧、オプション)
~70Kgf
騒音 55 dBA
ICデバイス寸法 2~70mm

寸法・重量

本体寸法 W505 x H365 x L610mm
本体質量 55 Kg
サーマルヘッド ラウンドタイプ:直径80mm
スクエアタイプ:73x43x73mm
サーマルヘッドホース ~2m

電源・環境

電源 200~240VAC、50/60Hz、
単層、最大16A、
プラグ:NEMA L6-20/30
CDA < 0.5 CFM@0.05-0.2MPa(0.5-Bar)
動作温度 -10℃ ~ +45℃
露点温度 -60℃ ~ -70℃
MaxTC Power Plus

MECHANICAL DEVICES社製 最高レベルのハイパフォーマンス

MaxTC Power Plus

ハイパワー、高発熱の各種ICデバイスのテストに対応
様々なパッケージサイズ各種インターフェイスに合わせて
カスタム製作可能

ダイレクトコンタクトにより、ハイパワー、高発熱の各種ICデバイスのテストに対応します。様々なパッケージサイズ及び各種インターフェイスに合わせてカスタム製作することが可能です。
ソケット上のICデバイス、基板に半田付けされたICデバイス、様々なサイズやタイプのICデバイス等、これら全てのハイパワーデバイスの温度をコントロールします。
パワフルなサーマルヘッドのダイレクトコンタクトによって精密かつ確実にご要望の温度にICデバイスを到達させます。

システム概要

最大温度 +200℃
最小温度 -75℃
温度精度 ±0.2℃
標準温度切替時間 <2min(25℃→-40℃)
<1min(25℃→+125℃)
温度センサー PT100サーミスタ/
サーマルダイオード/
Kタイプサーモカップル
温度校正 ソフトウェアの校正
リモート
インターフェース
イーサネット(TCP/IP)、RJ-45
システムインジケータ
及び安全装置
サーマルヘッド温度過上昇、
ファン操作、クーリングユニット操作
急速サーマル
サイクルレート
最大75℃/min、
特定範囲のみ
アクチュエーションタイプ
(IC加圧、オプション)
空圧式クリップ
オンアクチュエータ
アクチュエーション荷重
(IC加圧、オプション)
3~80Kgf/30~220Kgf
騒音 55dBA
ICデバイス寸法 ~100mm

寸法・重量

本体寸法 W505 x H365 x L610mm
本体重量 65 Kg
サーマルヘッド寸法
(スクウェアタイプ)
73 x 43 x 73mm
サーマルヘッド重量 ~1.5kg
サーマルヘッドホース ~2m (6.5ft)

電源・環境

電源 200~240VAC、
50/60Hz、
単層、最大16A
動作温度 -10℃~+30℃
(結露ないこと)
プラグ NEMA L6-20/30
CDA < 0.5 CFM@90PSI
(-70℃露点温度)

データ・通信

USB タイプB
イーサネットTCP/IP RJ-45
タッチスクリーン
ディスプレイ
7インチLCD
ECO Cool

MECHANICAL DEVICES社製 最高レベルのハイパフォーマンス

ECO Cool

効率的でハイパフォーマンスな温度コントロールシステム
ハイパワーデバイス及び高発熱デバイスの温度テストに最適

ハイパワー及びフレキシビリティーをコンセプトにデザインされており、様々なICパッケージ及び各種インターフェイスに合わせてカスタム製作することが可能です。

様々なサイズ及びタイプのICデバイス、 ソケット上のICデバイス、及び基板に半田付けされたICデバイスの各アプリケーションに対応可能であり、より広範囲のハイパワー及び高発熱向けICデバイスの温度テストを可能にします。

最先端のデザインとテクノロジーを用いたユニットは、サーマルヘッドがICデバイスにダイレクトコンタクトすることにより、ICデバイス温度をご要望の温度にコントロールします。

システム概要

最大温度 +200℃
最小温度 -30℃
温度精度 ±0.2℃
温度センサー PT100サーミスタ/
サーマルダイオード/
Kタイプサーモカップル
温度校正 ソフトウェアの校正
リモート
インターフェース
イーサネット(TCP/IP)、
RJ-45
システム
インジケータ
及び安全装置
サーマルヘッド温度過上昇、
ファン操作、
クーリングユニット操作
急速サーマル
サイクルレート
最大75℃/min、
特定範囲のみ、
ランプレート制御可能
アクチュエーション
タイプ
(IC加圧、オプション)
空圧式クリップ
オンアクチュエータ
アクチュエーション
荷重
(IC加圧、オプション)
70~220Kgf
騒音 55dBA
ICデバイス寸法 ~100mm

寸法・重量

本体寸法 W450 x H310 x L495mm、
19インチ、7U
本体重量 45 Kg
サーマルヘッド寸法
(スクウェアタイプ)
73 x 43 x 73mm
サーマルヘッド重量 ~1.5kg
サーマルヘッドホース ~2m (6.5ft)

電源・環境

電源 200~240VAC、50/60Hz、単層、最大16A
動作温度 -10℃~+30℃
(結露ないこと)
プラグ NEMA L6-20/30
CDA <0.5 CFM@0.05-0.2MPa(0.5-Bar)
(-30℃露点温度)

データ・通信

USB タイプB
イーサネットTCP/IP RJ-45
タッチスクリーン
ディスプレイ
7インチLCD

性能比較表

FlexTC MaxTC MaxTC Power Plus ECO Cool
製品名 FlexTC MaxTC MaxTC Power Plus ECO Cool
温度範囲 -50℃~+155℃ -70℃~+175℃
(オプション +200℃)
-75℃~+200℃ -30℃~+200℃
サイズ (W x H x L) 320 x 220 x 420mm 505 x 365 x 610mm 505 x 365 x 610mm 450 x 310 x 495mm
重量 22 kg 55 kg 65 kg 40 kg
電源 100V/200V 200V 200V 200-240V
特 徴 オールインワン:冷却用の外付けチラー/圧縮エアが不要
メンテンスフリー
液体不使用
低温テスト時の霜・湿気防止にドライエアーの使用推奨
7インチタッチパネルによる簡単操作
Ethernet (TCP/IP)リモートインターフェース対応
クーリングパワー -32℃@20W -40℃@90W -50℃@400W 0℃@400W
温度精度 ±0.2℃ ±0.2℃ ±0.2℃ ±0.2℃
急速サーマルサイクルレート 最大 50℃/min
(特定範囲のみ)
最大 75℃/min
(特定範囲のみ)
最大 75℃/min
(特定範囲のみ)
最大 75℃/min
(特定範囲のみ、
ランプレート制御可能)
推奨対応 PKG サイズ ~40mm ~70mm ~100mm ~100mm

生産メーカー

MECHANICAL DEVICES
メカニカルデバイセズ社(本社イスラエル、Haifa)は2005年創業のサーマルマネジメントシステム分野におけるリーディングサプライヤで、継続的に新たなイノベーティブソリューションに向けて取り組んでいます。
製品ラインの温度コントロールシステムは半導体、産業機器、電気機器、医療装置、宇宙航空防衛機器関連のメーカーで世界的に採用されています。
日本国内代理店

製品のご購入・お問い合わせは
日本国内代理店のゼネラル物産株式会社にご相談ください。

ご利用者様からの声

半導体開発業 A社
技術担当様

スピーディーな反応でICテストまでの待ち時間が削減しました。
デモ機を評価した結果、温度変化が素早く、温度もすぐに安定したので、ICテストをすぐに開始できました。
タッチパネルは英語表示ですが、操作は簡単で間違うこと無く利用できました。
また製品もコンパクトで利便性が良く、テスター室での移動も簡単でした。

半導体開発業 B社
技術担当様

ソケット取り付け可能で少量多品種のテストに使いやすい製品
デモ機を評価した結果、本製品の表示温度とICデバイスの温度が、低温から高温まで一定して推移し極端な乖離も無く安定していました。
クリップオンはマニュアル蓋の代わりとして、既存ソケットに取付け可能なので、少量多品種のテストにより使いやすい製品です。温度テストのためにハンドラーをセットアップする必要もなくなったので、作業効率が向上しました。

半導体開発業 C社
技術担当様

従来の製品より温度切替速度、動作音も良くなりました。
海外の事業所で本製品が使用されているので問い合わせました。
デモ機を評価した結果、手持ちの製品に比べて、温度切替え及び温度安定が早く、動作音も全く気にならず、設定事項も少なく使いやすい製品でした。
ドライエアーの流量設定に時間がかかりましたが、最終的に問題無く稼働しました。

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