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Bdot Probe

Bdot Probe

Bdotプローブはプラズマ反応炉内の磁束の時間変化率を測定します。

測定項目

  • ・B-dot

測定機能

  • ・時間平均
  • ・時間分解能
  • ・時間トレンド

機器構成

電気仕様、ソフト
RF プラズマ: 0.4MHz ~ 100MHz広帯域プローブ
プラズマ電力源: RF, 連続出力, パルスプラズマ
時間分解能: 1µS
プローブ
標準300mm (カスタム可)
プローブのクリーニング
化学的にクリーニング、取り換え可
プロ―ブの空間移動
リニアドライブ機構で0.025mm ステップで自動的に移動
真空フィードスルー
KF, CF またはカスタム仕様の真空コネクタ
Bdot Probe

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