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スパッタ用パルス電源
[Advanced Energy]
アドバンスドエナジー（AE）のPinnacle®
Plus+は、使いやすさ、コスト節約効果、優れた柔軟性などの利点を持ち、さらに標準的なDC電源技術に各種製造プロセスで実績のあるパルスDC技術を融合させ、複雑で高価なAC電源ソリューションと比べてより高いデポジション率、より優れた再現性、ならびに卓越したフィルム品質を実現しています。
製品特徴
- ・小型設計の一体型パッケージ
- ・周波数範囲が調整可能（5～350 kHz）
- ・可変デューティーサイクル（最大45％）
- ・幅広い電圧範囲― シングルタップ、広いインピーダンス範囲
- ・卓越したアーク制御
- ・反応性スパッタリング閉ループ制御
主なアプリケーション
- ・スパッタ装置
- ・PECVD
- ・ハードコーティング
- ・プラズマ窒化処
- ・フラットパネルディスプレイ
- ・太陽電池セル
- ・装飾パネル
製品ラインナップ
| 製品画像 | シリーズ | 周波数 | 電力 | 特徴 |
|---|---|---|---|---|
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5～350kHz | 5kW, 5kW Dual, 10kW,HALO |
卓越したアーク制御技術により高いデポジション率、より優れた再現性、ならびに卓越したフィルム品質を実現できるパルス電源
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Solvix® Arc | 1～200Hz (optional) |
15kW,30kW |
多彩な出力電力、周波数や通信オプションが選択可能でさらに最高品質のアーク制御技術により、より高品質な膜を生成することができるDC及びDCパルス電源
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Solvix® Bias | 1～350kHz (optional) | 3kW,6kW,10kW, 15kW,30kW |
多彩な出力電力、周波数や通信オプションが選択可能でさらに最高品質のアーク制御技術により、より高品質な膜を生成することができるDC及びDCパルス電源
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Ascent® AMS | - | 30kW,40kW, 60kW |
最新のアーク制御
(Arc Management System™)技術を実装したDC電源 |
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500Hz～50kHz 入力：400VAC |
40kW,60kW, 120kW |
最新のアーク制御
(Arc Management System™)技術を実装したAscent® AMSのDC出力をバイポーラパルス化するアクセサリ |
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Ascent® AP | - | 15kW,30kW |
Ascent® AP(Advaced
Pulse)製品は、特許を取得しているパルステクノロジーを搭載したデュアル・シングルマグネトロンスパッタ用に開発されたパルス電源です。
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0.5～150kHz | 30kW |
Ascent® AP(Advaced
Pulse)製品は、特許を取得しているパルステクノロジーを搭載したデュアル・シングルマグネトロンスパッタ用に開発されたパルス電源です。
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0.5～150kHz | 30kW |
Ascent® AP(Advaced
Pulse)製品は、特許を取得しているパルステクノロジーを搭載したデュアル・シングルマグネトロンスパッタ用に開発されたパルス電源です。
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