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Quantum System

Quantum System

Quantum Multi Sensorは、グリッドによりエネルギー分解された水晶クリスタル微量天秤で、プラズマ・リアクター内のウエハ表面を叩くイオン・ニュートラル・フラクションを複数の位置で測定します。

測定項目

  • ・成膜レート
  • ・イオンエネルギー
  • ・イオンフラックス
  • ・バイアス電圧
  • ・中性粒子とイオンの比率

測定機能

  • ・時間平均
  • ・時間トレンド

機器構成

電気仕様、ソフト
0-2,500 eV
完全自動ソフト
センサホルダ
150mm, 200mm, 300mm, 450mm,カスタムサイズ
ボタンプローブ
交換可能なセンサー
真空フィードスルー
KF, CFまたはカスタム仕様の真空コネクタ
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