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RF電源/整合器(JS技研)

[ジェイエス技研]
産業用の高周波電源の専業メーカで20kHz~500MHzの周波数に対応。プラズマプロセスや半導体製造プロセス用の機器を製作。13.56MHzや27.12MHzの標準モデルから柔軟にカスタマイズ対応し、整合器のみについても積極的に対応。

製品特徴

  • ・20kHz~500MHzの周波数帯をカバー
  • ・30W~5kWまでの範囲の出力電力をカバー
  • ・水晶発振器と出力安定化機能により安定した動作が可能
  • ・真空バリコンとステッピングモータによる高寿命設計
  • ・整合器のみでも対応可能
  • ・カスタマイズ対応可能
  • ・各種オプション機器(制御ユニット、フィルタ等)もラインナップ
  • ・RoHS対応可能(ご相談ください)

主なアプリケーション

  • ・スパッタリング装置
  • ・CVD装置
  • ・プラズマエッチング装置
  • ・RFイオン源
  • ・ニュートラライザ

製品ラインナップ

RF電源

型式 周波数 電力 特徴
RM-30-xx 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 30W 小出力源として設計した組み込み用電源
RF50-450 450MHz 50W アイソレーター内蔵の為負荷インピーダンスが著しく変動しても安定動作が可能
RF-151 13.56MHz 150W 定電力フィードバックで出力制御
RF-300 13.56MHz 300W パネル操作専用の小型・シンプル機能に特化したローコストタイプ
RF-320-xxyy 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/
60MHz
300W
250W(60MHz)
1筐体に2周波の電源を組み込んだ、複合型電源
RF-410 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 400W 整合器内蔵型の高周波電源
RF-500 13.56MHz 500W 水晶発振器と出力安定化機能により安定した動作が可能
RF500-450 450MHz 500W アイソレーター内蔵の為負荷インピーダンスが著しく変動しても安定動作が可能
RF-650 13.56MHz 650W 水晶発振器と出力安定化機能により安定した動作が可能
RF-1K-C-xx 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 1kW 3周波から選択、コンパクト/省電力設計
HF-1K-1M-TU 1MHz 1kW 水晶発振器と出力安定化機能により安定した動作が可能
RF-1.5K-PH 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 1.5kW マスター/スレーブ同期運転が可能
RF-5K-SL 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 5kW 冷却水・排水の設備は不要な空冷モデル。外部制御専用とする事で、シンプル化と低コスト化を実現しています。

整合器

型式 周波数 電力 特徴
MB-100-XX 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 100W 3周波から選択可能な手動整合器
C1553MI 900~1700kHz 100W 中波帯用自動アンテナインピーダンス手動整合器
MB-100-AT 13.56MHz 100W 空気バリコンを使用した自動整合器
MBPR-302 13.56MHz 300W 小電力用組み込み型自動整合ユニット
MB-500-05 500kHz 500W 500kHzループアンテナ用自動アンテナインピーダンス手動整合器
MB-450SL 13.56MHz 500W 真空コンデンサを使用した小型自動整合器
MB-510-AT 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W 可変素子に真空バリコンを使用しステッピングモータをマイコンで制御した高寿命・高耐圧モデル
MB-710-ATJ 13.56MHz 1kW 真空コンデンサと水冷コイルを使用した自動整合器
EMB-1K-FD 13.56MHz 1kW 半導体式高周波スイッチ技術を取り入れ、可変コンデンサなどの可動部分を排した、電子式自動整合器
MB-1K-1025-C 10~25MHz(自動整合範囲) 1kW 10MHz~25MHzの任意周波数で連続動作可能なインピーダンス整合器
MB-1K-2560-C 25~60MHz(自動整合範囲) 1kW 25MHz~60MHzの任意周波数で連続動作可能なインピーダンス整合器
MB-1K-60100-GU 60~100MHz(自動整合範囲)
40~150MHz(手動調整範囲)
1kW 60MHz~100MHzの任意周波数で連続動作可能なインピーダンス整合器
MB-1K-LC-xx 13.56MHz~40.68MHz 1kW ICPのコイルに対応、またRoHS対応した直結型の手動整合器
MB-3K-YV-xx 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 3kW 真空バリコンとステッピングモータによる高寿命設計で空冷の組み込み専用機
MB-3K/5K-CP 13.56MHz 3kW/5kW 静電結合型極放(CCP)用5kW級自動整合器
MB-5K-LC 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 5kW 外部コイルより、CCP 5kW、ICP 2kWにも直結利用が可能
MB-5K-ICP 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 5kW 5kWのICP用途のほか、外部コイルにより、CCP2も利用可能

※整合器補足事項

オプション機器

商品名 型式 周波数 特徴
位相シフター発信器 G1564VA 1MHz~80MHzの1波 2チャンネル間の位相は0-360°内での任意設定が可能で2台の高周波電源の位相同期用源発振として利用可能
イグナイタユニット ING-2K-13 13.56MHz 電極に直流高電圧を加え、放電起動をサポートするユニット
ノッチフィルタ BEF-27-FD 27.12MHz スペクトラムアナライザなどの50Ω測定線路に挿入し、7.12MHz成分を減衰させるノッチフィルタ
商品名 型式 特徴
DC高圧電源 DC-250-1K-x-y 1kV/250W出力の工業用・研究用に設計された直流高圧電源
制御ユニット PLC-01 弊社RF電源・自動整合器を制御可能なPLC制御ユニット
制御ユニット RFCP-xx 弊社RF電源のリモート制御コネクタを利用して遠隔手動操作を可能にするコントロールボックス
制御ユニット ATCP-600 弊社製自動整合器の制御コネクタを利用して遠隔手動操作を可能にするコントロールボックス

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