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Langmuir Probe

Quantum System

ラングミュアプローブは、バルクプラズマにおいてプラズマのパラメータを測る際に、最も一般的で広く使われているプラズマ診断・特性の測定器の1つです。

測定項目

  • ・フローティング電位
  • ・プラズマ電位
  • ・プラズマ密度
  • ・イオン電流密度
  • ・電子エネルギー分布機能 (EEDF)
  • ・電子温度

測定機能

  • ・時間平均
  • ・時間分解能
  • ・時間トレンド

機器構成

電気仕様、ソフト
電圧スキャン範囲: -150V ~ +150V
電流範囲: 15nA ~ 1A
時間分解能: 12.5nS
プローブ
1システムにダブルとシングル
標準: 300mm(カスタム可)
プローブのクリニーニング
自動、交換可
プローブの空間移動
リニアドライブ機構で0.025mmステップで自動的に移動
真空フィードスルー
KF, CF 又はカスタム仕様の真空コネクタ
Langmuir Probe

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