Plato Probe
Platoプローブは、プローブ表面に絶縁膜が成膜されるプロセスで、成膜プラズマ中で機能するよう設計されています。プラズマ反応炉の中で非常に反応し易い絶縁ガスが使用されていてもプラズマ中で使用可能です。
測定項目
測定機能
機器構成
- 電気仕様、ソフト
- 電圧スキャン範囲: -40V ～ +40V
- 電流範囲: 10µA to 100mA
- 時間分解能: 1µS
- プローブ
- 標準：300mm （カスタム可）
- プローブクリニーニング
- 化学的にクリーニング、取り換え可
- プローブの空間移動
- リニアドライブ機構で0.025mm ステップで自動的に移動
- 真空フィードスルー
- KF, CF またはカスタム仕様の真空コネクタ
