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Plato Probe

Plato System

Platoプローブは、プローブ表面に絶縁膜が成膜されるプロセスで、成膜プラズマ中で機能するよう設計されています。プラズマ反応炉の中で非常に反応し易い絶縁ガスが使用されていてもプラズマ中で使用可能です。

測定項目

  • ・プラズマ密度
  • ・イオン電流密度
  • ・電子温度

測定機能

  • ・時間平均
  • ・時間分解能
  • ・時間トレンド

機器構成

電気仕様、ソフト
電圧スキャン範囲: -40V ~ +40V
電流範囲: 10µA to 100mA
時間分解能: 1µS
プローブ
標準:300mm (カスタム可)
プローブクリニーニング
化学的にクリーニング、取り換え可
プローブの空間移動
リニアドライブ機構で0.025mm ステップで自動的に移動
真空フィードスルー
KF, CF またはカスタム仕様の真空コネクタ
Langmuir Probe

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