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RF電源/整合器(AE)

[Advanced Energy]
様々な特長や性能をユニークに組み合わせが可能で品揃えが豊富なRF電源及び1kW~50kWの電力を広範囲な負荷インピーダンスに高い信頼性で高速かつ正確にマッチングするための最新技術が搭載された自動整合器をご提供しております。

製品特徴

  • ・小型でシンプルなデザイン
  • ・堅牢性と柔軟性に優れたCESARプラットフォーム
  • ・熱の発生が少なく高性能
  • ・2, 4, 13.56, 27.12, 40.68MHz
  • ・0.3kW~5kW
  • ・AC200V/400V入力オプション
  • ・各種通信プロトコルに対応
  • ・RoHS対応可能

主なアプリケーション

  • ・スパッタリング装置
  • ・CVD装置
  • ・プラズマエッチング装置
  • ・RFイオン源
  • ・ニュートラライザ
製品ラインナップ

RF電源

型式 周波数 電力 特徴
Paramount シリーズ 400kHz~60MHz
2,3,5,8kW(400kHz)
5kW(2MHz)
1.5,3,6kW(13.56MHz)
3,6,7kW(27,40,60MHz)
50Ω/非50Ω負荷時に高精度の測定・制御を実現する電力・インピーダンス測定システムを搭載。
急激なプラズマインピーダンスの変化もリアルタイムで補正。
Cesar シリーズ 2~40.68MHz
600W,1,2,2.5,3,5kW(2,4MHz)
300,600W, 1, 1.2, 2, 2.5, 3,5kW(13.56MHz)
300,600W,1, 2, 4kW
(27.12, 40.68MHz)
コンパクトでシンプルなデザイン。高性能で熱の発生が少ない。様々な特徴や性能を組み合わせ、多くのレパートリーが可能
Apex シリーズ 13.56MHz
1.5, 3, 5.5,10kW
汎用性の高いモジュラー設計。
優れたアークマネージメント

整合器

型式 周波数 電力 特徴
13.56,27.12,
40.68,60MHz
1kW,3kW,5kW
プラズマの複雑なインピーダンスを高いリアルタイム処理能力により、迅速・正確にに希望の範囲にチューニング
Navigator マッチングネットワーク 2,4,13.56,
27.12,40.68MHz
1.5W~30kW
マイクロプロセッサ制御のステッピングモーターとユーザーによる選択が可能な、デジタルチューニング・アルゴリズムの採用により、プラズマの複雑なインピーダンスを自動的にチューニング

AC電源

シリーズ 周波数 電力 特徴
PEII 40kHz 5kW,10kW
アーク制御の強化と電源内部での整合機能を特長とするパルス幅変調(PWM)機能を採用した40kHz電源装置であり、トランスのような外付けのハードウェアを組み合わせなくても最大で60kWの電力を供給できるAC電源です。
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