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ゼネラル物産では、プラズマ用DC/パルス電源の取り扱い、カスタマイズを行っております。
プラズマ用DC/パルス電源とは？
プラズマ用DC/パルス電源は、スパッタリング、プラズマCVD（PECVD）、プラズマ窒化（イオン窒化）、エッチング、表面改質、ハードコーティングなどのプラズマプロセスにおいて、安定したプラズマ生成と高速なアーク管理を実現する電源装置です。
低ストアードエネルギー設計による高速アーク抑制性能、卓越したパルス再現性、広い負荷インピーダンス対応範囲は、成膜品質・成膜速度・歩留まりに直結する重要な要素であり、半導体、ディスプレイ（LCD/OLED）、太陽電池、光学、切削工具・金型のハードコーティング、MEMSなど幅広い製造現場で使用されています。
取り扱いブランドについて
ゼネラル物産では、Advanced Energy（AE）社製のDCスパッタ電源・パルスDC電源、MAGPULS社製のHiPIMS／HPPMS（高出力インパルスマグネトロンスパッタリング）電源など、多様なスパッタリング・プラズマプロセスに対応する製品を取り扱っています。
詳細な仕様確認やカスタマイズなど技術相談、納期の問い合わせ、
関連製品の取り寄せなどお気軽にお問い合わせください。
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