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プラズマ用DC/パルス電源

プラズマ用直流電源

[MAGPULS]
マグパルス社はスパッタ用を始めPECVD成膜、表面処理、エッチング等プラズマ処理の先端をいく高出力インパルスプラズマ(HIPIMS/HPPMS)電源のメーカです。
反応性スパッタ装置、ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングやHiPIMSと呼ばれる非常にイオン化されたプラズマ放電分野で最先端の電源を開発し続けています。

製品特徴

  • ・ユニポーラ、バイポーラパルス電源
  • ・出力電圧:0~1,000V
  • ・最大出力パルス電流 (0~Max):0~1,500A
  • ・周波数:DC、0.05Hz -100kHz
  • ・出力モード:DC/ユニポーラ/バイポーラ/プログラマブルパルスパターン
  • ・対応スパッタ方式: シングルマグネトロン、デュアルマグネトロン、リアクティブスパッタ

主なアプリケーション

  • ・スパッタ装置
  • ・PECVD
  • ・ハードコーティング
  • ・プラズマ窒化処
  • ・フラットパネルディスプレイ
  • ・太陽電池セル
  • ・装飾パネル
製品ラインナップ
製品イメージ 型名 製品説明 出力電圧 最大出力パルス電流
(0~Max)
周波数
MP-1 ユニポーラパルス電源 0-1,000V 35/60/100/200/400 DC
0.05Hz -100kHz
MP-2 バイポーラパルス電源 0-1,000V 35/60/100/200/400 DC
0.05Hz -100kHz
MP2 AS 非対称パルス生成可能な
バイポーラパルス電源
0-1,000V 35/60/100/200/400 DC
0.05Hz -100kHz
MP2 HC バイポーラHIPIMS
パルス電源
0-1,000V 200/400/600
1000/1500
DC
0.05Hz -100kHz

※HIPIMSに関する技術情報はこちら

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