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RF電源/整合器から探す

• RF電源/整合器(JS技研)

  産業用の高周波電源の専業メーカで20kHz～500MHzの周波数に対応。プラズマプロセスや半導体製造プロセス用の機器を製作。

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• RF電源/整合器(AE)

  特長や性能をユニークに組み合わせが可能なRF電源及び1kW～50kWの電力を広範囲に対応。高速かつ正確にマッチングが可能。

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