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RF電源/整合器(JS技研)
［ジェイエス技研］
産業用の高周波電源の専業メーカで20kHz～500MHzの周波数に対応。プラズマプロセスや半導体製造プロセス用の機器を製作。13.56MHzや27.12MHzの標準モデルから柔軟にカスタマイズ対応し、整合器のみについても積極的に対応。
製品特徴
- ・20kHz～500MHzの周波数帯をカバー
- ・30W～5kWまでの範囲の出力電力をカバー
- ・水晶発振器と出力安定化機能により安定した動作が可能
- ・真空バリコンとステッピングモータによる高寿命設計
- ・整合器のみでも対応可能
- ・カスタマイズ対応可能
- ・各種オプション機器(制御ユニット、フィルタ等)もラインナップ
- ・RoHS対応可能(ご相談ください)
主なアプリケーション
- ・スパッタリング装置
- ・CVD装置
- ・プラズマエッチング装置
- ・RFイオン源
- ・ニュートラライザ
製品ラインナップ
RF電源
| 型式 | 周波数 | 電力 | 特徴 |
|---|---|---|---|
| RM-30-xx | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 30W | 小出力源として設計した組み込み用電源 |
| RF50-450 | 450MHz | 50W | アイソレーター内蔵の為負荷インピーダンスが著しく変動しても安定動作が可能 |
| RF-151 | 13.56MHz | 150W | 定電力フィードバックで出力制御 |
| RF-300 | 13.56MHz | 300W | パネル操作専用の小型・シンプル機能に特化したローコストタイプ |
| RF-320-xxyy | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/ 60MHz |
300W 250W(60MHz) |
1筐体に2周波の電源を組み込んだ、複合型電源 |
| RF-410 | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 400W | 整合器内蔵型の高周波電源 |
| RF-500 | 13.56MHz | 500W | 水晶発振器と出力安定化機能により安定した動作が可能 |
| RF500-450 | 450MHz | 500W | アイソレーター内蔵の為負荷インピーダンスが著しく変動しても安定動作が可能 |
| RF-650 | 13.56MHz | 650W | 水晶発振器と出力安定化機能により安定した動作が可能 |
| RF-1K-C-xx | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 1kW | 3周波から選択、コンパクト/省電力設計 |
| HF-1K-1M-TU | 1MHz | 1kW | 水晶発振器と出力安定化機能により安定した動作が可能 |
| RF-1.5K-PH | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 1.5kW | マスター／スレーブ同期運転が可能 |
| RF-5K-SL | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 5kW | 冷却水・排水の設備は不要な空冷モデル。外部制御専用とする事で、シンプル化と低コスト化を実現しています。 |
整合器
| 型式 | 周波数 | 電力 | 特徴 |
|---|---|---|---|
| MB-100-XX | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 100W | 3周波から選択可能な手動整合器 |
| C1553MI | 900～1700kHz | 100W | 中波帯用自動アンテナインピーダンス手動整合器 |
| MB-100-AT | 13.56MHz | 100W | 空気バリコンを使用した自動整合器 |
| MBPR-302 | 13.56MHz | 300W | 小電力用組み込み型自動整合ユニット |
| MB-500-05 | 500kHz | 500W | 500kHzループアンテナ用自動アンテナインピーダンス手動整合器 |
| MB-450SL | 13.56MHz | 500W | 真空コンデンサを使用した小型自動整合器 |
| MB-510-AT | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 500W | 可変素子に真空バリコンを使用しステッピングモータをマイコンで制御した高寿命・高耐圧モデル |
| MB-710-ATJ | 13.56MHz | 1kW | 真空コンデンサと水冷コイルを使用した自動整合器 |
| EMB-1K-FD | 13.56MHz | 1kW | 半導体式高周波スイッチ技術を取り入れ、可変コンデンサなどの可動部分を排した、電子式自動整合器 |
| MB-1K-1025-C | 10～25MHz(自動整合範囲) | 1kW | 10MHz～25MHzの任意周波数で連続動作可能なインピーダンス整合器 |
| MB-1K-2560-C | 25～60MHz(自動整合範囲) | 1kW | 25MHz～60MHzの任意周波数で連続動作可能なインピーダンス整合器 |
| MB-1K-60100-GU | 60～100MHz(自動整合範囲) 40～150MHz(手動調整範囲) |
1kW | 60MHz～100MHzの任意周波数で連続動作可能なインピーダンス整合器 |
| MB-1K-LC-xx | 13.56MHz～40.68MHz | 1kW | ICPのコイルに対応、またRoHS対応した直結型の手動整合器 |
| MB-3K-YV-xx | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 3kW | 真空バリコンとステッピングモータによる高寿命設計で空冷の組み込み専用機 |
| MB-3K/5K-CP | 13.56MHz | 3kW/5kW | 静電結合型極放(CCP)用5kW級自動整合器 |
| MB-5K-LC | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 5kW | 外部コイルより、CCP 5kW、ICP 2kWにも直結利用が可能 |
| MB-5K-ICP | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz | 5kW | 5kWのICP用途のほか、外部コイルにより、CCP2も利用可能 |
オプション機器
| 商品名 | 型式 | 周波数 | 特徴 |
|---|---|---|---|
| 位相シフター発信器 | G1564VA | 1MHz～80MHzの1波 | 2チャンネル間の位相は0－360°内での任意設定が可能で2台の高周波電源の位相同期用源発振として利用可能 |
| イグナイタユニット | ING-2K-13 | 13.56MHz | 電極に直流高電圧を加え、放電起動をサポートするユニット |
| ノッチフィルタ | BEF-27-FD | 27.12MHz | スペクトラムアナライザなどの50Ω測定線路に挿入し、7.12MHz成分を減衰させるノッチフィルタ |
| 商品名 | 型式 | 特徴 |
|---|---|---|
| DC高圧電源 | DC-250-1K-x-y | 1kV/250W出力の工業用・研究用に設計された直流高圧電源 |
| 制御ユニット | PLC-01 | 弊社RF電源・自動整合器を制御可能なPLC制御ユニット |
| 制御ユニット | RFCP-xx | 弊社RF電源のリモート制御コネクタを利用して遠隔手動操作を可能にするコントロールボックス |
| 制御ユニット | ATCP-600 | 弊社製自動整合器の制御コネクタを利用して遠隔手動操作を可能にするコントロールボックス |
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