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直流大電流電源
[ET System]
- ・効率94%、5～1,500V/250kWまでの標準大電流直流電源
- ・ソース/シンク機能付き、20～
1,500V/210kW(30kW×7)までの標準大電流直流電源 - ・セミカスタムにも柔軟に対応可
- ・並列、直列、マトリックスまたはマルチロードのマスター/スレープ動作
- ・豊富なデジタルI/O：IEEE 488, RS232/485, USB, LAN (オプション)
製品特徴
- ・21kwユニットが高さ133ｍｍ
- ・定電圧/定電流/定電力モードを標準で搭載
- ・高効率94%
- ・CPUコントロール
- ・直列・並列接続可能
- ・Master/Slave接続で250kWまで拡張
- ・スクリプトコントロール：メモリーカードからプロセスのプログラミングとブーティング
- ・デジタルインターフェイス：IEEE 488, RS232/485, USB, LAN
- ・アナログインターフェイス：0-5V, 0-10Vアナログインターフェイス：0-5V, 0-10V
- ・負荷の電圧を検出するセンサ端子装備
- ・CE認証
主なアプリケーション
- ・マグネット駆動： 半導体製造装置、加速器
- ・ヒータ（加熱・蒸発源）： 有機EL製造蒸着装置、CVD装置、化合物半導体製造装置
- ・バッテリ試験： 2次電池、蓄電池、太陽電池、キャパシタ
- ・水処理、表面処理： 超純水製造EDIシステム、めっき
- ・太陽電池パネル模擬電源、太陽電池の特性評価試験
- ・HV車電装品、電子部品の試験・エージングなど
製品ラインナップ
| 製品イメージ | モデル | 電圧 | 電流 | 電力 |
|---|---|---|---|---|
|
0～15Vから
0～1500V |
ユニット単体で
0～4.7Aから0～2250A |
3kw～63kw
|
|
|
0～15Vから
0～1,200V |
0～2Aから0～50A
|
750W～2.4kW
|
|
|
0～15Vから
0～1,500V |
ユニット単体で
0～7Aから0～200A |
3kW～90kW
(ユニット単体は 3k,4kW,5k,6k,8k,10kW) |
|
|
0-20Vから
0-1,500V |
ユニット単体で
0～10Aから0～250A |
5k～250kW
(ユニット単体は 5,10,15kW) |
|
|
0～15Vから
0～1,500V |
ユニット単体で
0～7Aから0～200A |
3kW～90kW
(ユニット単体は 3k,4kW,5k,6k,8k,10kW) |
|
|
0～20Vから 0～1,500V |
ユニット単体で 0～10Aから0～250A |
5k～250kW (ユニット単体は 5,10,15kW) |
|
|
0～60Vから
0～1,500V |
単体ユニット構成で
0～±3から0～±85 |
単体ユニット構成は
5,10,15,20,25,30kW |
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