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プラズマ電力の測定

プラズマ電力の測定
Octiv シリーズは、プラズマの電力測定及びプラズマ診断を行うインラインで使用されるシステムです。
最大11項目の測定(実効電力、進行波、反射波、インピーダンス、電圧、電流、位相角、高調波、イオンフラックス、複数周波数の同時測定、波形の再構 )が行えますが、測定項目によって4モデルが用意されています。
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