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Octiv Suite

Octiv Suite

Octiv Suiteは、RF電圧、電流、位相、高調波の測定及びプラズマ診断を行い、インラインで使用されるシステムです。
RF電力の全てのパラメータを測定でき、そのパラメータを個々の構成要素にまで分解して分析できます。また同時に複数の基本周波数の波形を再構成します。

測定項目

  • ・電圧
  • ・電流
  • ・位相
  • ・高調波
  • ・インピーダンス
  • ・イオン・フラックス

測定機能

  • ・時間平均
  • ・時間分解能
  • ・時間トレンド
  • ・スミスチャート測定
  • ・波形の再構成
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