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Octiv Suiteは、RF電圧、電流、位相、高調波の測定及びプラズマ診断を行い、インラインで使用されるシステムです。 RF電力の全てのパラメータを測定でき、そのパラメータを個々の構成要素にまで分解して分析できます。また同時に複数の基本周波数の波形を再構成します。