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Octiv Suite
Octiv Suiteは、RF電圧、電流、位相、高調波の測定及びプラズマ診断を行い、インラインで使用されるシステムです。
RF電力の全てのパラメータを測定でき、そのパラメータを個々の構成要素にまで分解して分析できます。また同時に複数の基本周波数の波形を再構成します。
測定項目
- ・電圧
- ・電流
- ・位相
- ・高調波
- ・インピーダンス
- ・イオン・フラックス
測定機能
- ・時間平均
- ・時間分解能
- ・時間トレンド
- ・スミスチャート測定
- ・波形の再構成
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