製品から探す
Quantum System
Quantum Multi Sensorは、グリッドによりエネルギー分解された水晶クリスタル微量天秤で、プラズマ・リアクター内のウエハ表面を叩くイオン・ニュートラル・フラクションを複数の位置で測定します。
測定項目
- ・成膜レート
- ・イオンエネルギー
- ・イオンフラックス
- ・バイアス電圧
- ・中性粒子とイオンの比率
測定機能
- ・時間平均
- ・時間トレンド
機器構成
| 電気仕様、ソフト | 0-2,500 eV 完全自動ソフト |
|---|---|
| センサホルダ | 150mm, 200mm, 300mm, 450mm,カスタムサイズ |
| ボタンプローブ | 交換可能なセンサー |
| 真空フィードスルー | KF, CFまたはカスタム仕様の真空コネクタ |
製品から探す
電源製品
- 低電圧直流電源
モジュールタイプ - 低電圧直流電源 モジュールタイプページを見る
- 高電圧直流電源
モジュールタイプ - 高電圧直流電源 モジュールタイプページを見る
- 高電圧直流電源
ラックタイプ - 高電圧直流電源 ラックタイプ ページを見る
- 大容量直流電源
- 大容量直流電源 ページを見る
- パルスジェネレータ
- パルスジェネレータ ページを見る
- LDドライバ
- LDドライバ ページを見る
高周波電源＆アンプ
- RF電源/整合器/マイクロ波電源
- RF電源/整合器/マイクロ波電源ページを見る
- RFパワーアンプ
- RFパワーアンプ ページを見る
電子部品
検査装置＆テスト部品
- ICテストソケット
-
- バーンイン/HASTテストソケット
- ファイナルテストソケット/ファンクションテストソケット
- 高周波テストソケット
- ケルビンテストソケット
- WLCSPテストソケット
- 故障解析ソケット・レセプタクル・アダプター
- 半導体製造/試験装置
- 半導体製造/試験装置ページを見る
- プラズマ計測/診断機器
- プラズマ計測/診断機器ページを見る