Quantum System
Quantum Multi Sensorは、グリッドによりエネルギー分解された水晶クリスタル微量天秤で、プラズマ・リアクター内のウエハ表面を叩くイオン・ニュートラル・フラクションを複数の位置で測定します。
測定項目
- ・成膜レート
- ・イオンエネルギー
- ・イオンフラックス
- ・バイアス電圧
- ・中性粒子とイオンの比率
測定機能
機器構成
- 電気仕様、ソフト
- 0-2,500 eV
- 完全自動ソフト
- センサホルダ
- 150mm, 200mm, 300mm, 450mm,カスタムサイズ
- ボタンプローブ
- 交換可能なセンサー
- 真空フィードスルー
- KF, CFまたはカスタム仕様の真空コネクタ
