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Semion System

Semion System

Semionマルチセンサーは、多数のプラズマ測定センサーを使ってウエハ基板表面を叩くイオンエネルギーの均一性を測定します。

測定項目

  • ・イオンエネルギー
  • ・イオンフラックス
  • ・負イオン
  • ・温度
  • ・バイアス電圧

測定機能

  • ・時間平均
  • ・時間分解能
  • ・時間トレンド

機器構成

電気仕様、ソフト 0-2,500 eV
完全自動ソフト
センサホルダ 150mm, 200mm, 300mm, 450mm,カスタムサイズ
ボタンプローブ 交換可能なセンサー
真空フィードスルー KF, CFまたはカスタム仕様の真空コネクタ
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