製品から探す

Species System

Species System

イオン質量とエネルギー測定のSpeciesマルチアナライザは、多数の小型化されたセンサを使い、ウエハ表面を叩くイオン種(質量)の均一性を測定します。
プラズマ反応炉内の任意の位置或いはバイアス電極上での測定可。

測定項目

  • ・イオン種(質量)
  • ・イオンエネルギー
  • ・イオンフラックス
  • ・負イオン
  • ・温度
  • ・バイアス電圧

測定機能

  • ・時間平均
  • ・時間分解能
  • ・時間トレンド

機器構成

電気仕様、ソフト
0-2,500 eV
完全自動ソフト
センサホルダ
150mm, 200mm, 300mm, 450mm,カスタムサイズ
ボタンプローブ
交換可能なセンサー
真空フィードスルー
KF, CFまたはカスタム仕様の真空コネクタ

関連製品

製品一覧を見る
ページの先頭へ