Species System
イオン質量とエネルギー測定のSpeciesマルチアナライザは、多数の小型化されたセンサを使い、ウエハ表面を叩くイオン種（質量）の均一性を測定します。
プラズマ反応炉内の任意の位置或いはバイアス電極上での測定可。
測定項目
- ・イオン種（質量）
- ・イオンエネルギー
- ・イオンフラックス
- ・負イオン
- ・温度
- ・バイアス電圧
測定機能
機器構成
- 電気仕様、ソフト
- 0-2,500 eV
- 完全自動ソフト
- センサホルダ
- 150mm, 200mm, 300mm, 450mm,カスタムサイズ
- ボタンプローブ
- 交換可能なセンサー
- 真空フィードスルー
- KF, CFまたはカスタム仕様の真空コネクタ
