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Vertex Multi Sensorは、ウエハ表面を叩くイオンの入射角分の均一性を、プラズマ・リアクタ内の複数の位置で測定します。
プラズマチャンバ-内でウエハ表面を叩くイオンの角度配布を測ります。例えば、これは次の様な一般的な問題の手助けに成ります。
システムは、各々の角度分布でイオン・エネルギーを測ります。