製品から探す

Vertex System

Vertex System

Vertex Multi Sensorは、ウエハ表面を叩くイオンの入射角分の均一性を、プラズマ・リアクタ内の複数の位置で測定します。

測定項目

  • ・イオン入射角
  • ・イオンエネルギー
  • ・イオンフラックス
  • ・負イオン
  • ・温度
  • ・バイアス電圧

測定機能

  • ・時間平均
  • ・時間分解能
  • ・時間トレンド

プラズマチャンバ－内でウエハ表面を叩くイオンの角度配布を測ります。例えば、これは次の様な一般的な問題の手助けに成ります。

  • ・ダメージの特定
  • ・ビームの逸脱
  • ・弾性散乱

システムは、各々の角度分布でイオン・エネルギーを測ります。

Vertex System

関連製品

製品一覧を見る
ページの先頭へ