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バルクプラズマ パラメータ測定

バルクプラズマ パラメータ測定

リニアドライブ・システムを備えているラングミュアプローブは、プラズマチャンバー内の異なる場所でプラズマ・パラメータを特徴づけるのに理想的です。

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