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スパッタ用DC電源

スパッタ用DC電源

[Advanced Energy]
最新のアーク制御(Arc Management System™)技術を実装し、業界で最も低い蓄積エネルギー、最高速のアーク遮断反応、さらに最も広い最大出力運転インピーダンス範囲を実現したDC電源

製品特徴

  • ・最も低い蓄積エネルギー(出力1 kWにつき1 mJ未満)
  • ・業界最高速のアーク遮断
  • ・アーク遮断機能のパラメーターの設定変更が可能
  • ・最高度のプロセス効率
  • ・精密なプロセス制御
  • ・最小限の運転・設置コスト
  • ・タップ変更なし
  • ・インピーダンス範囲 4:1
  • ・ターゲット条件設定サイクル(TCC)―新たなターゲットの条件設定時間を短縮
  • ・出力再現性: ±0.1%
  • ・ジュールモード:最適なエネルギーを供給

主なアプリケーション

  • ・スパッタ装置
  • ・PECVD
  • ・ハードコーティング
  • ・プラズマ窒化処
  • ・フラットパネルディスプレイ
  • ・太陽電池セル
  • ・装飾パネル
製品ラインナップ
製品画像 シリーズ 電力 特徴
Ascent® 30kW,40kW,60kW
最新のアーク制御(Arc Management System™)
技術を実装したDC電源
Pinnacle®
6kW,10kW,
12kW,20kW
6kW Dual,
10kW Dual
業界で最も低い蓄積エネルギー、
最高速のアーク遮断反応、
さらに最も広い最大出力運転インピーダンス範囲を
実現したDC電源
Solvix®
3kW,6kW,
10kW,10kW Dual,
15kW,15kW Dual,
20kW,30kW,40kW
多彩な出力電力、周波数や通信オプションが
選択可能なDC及びDCパルス電源
MDX(500W) 500W
真空環境での厳しい連続使用条件にも
耐えるように設計されたDC電源
MDX(1kW、1.5kW) 1kW,1.5kW
厳しい規制への適合、優れたアーク消去効果、
低い蓄積出力エネルギーを特長とするDC電源
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