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スパッタ用DC電源
[Advanced Energy]
最新のアーク制御（Arc Management
System™）技術を実装し、業界で最も低い蓄積エネルギー、最高速のアーク遮断反応、さらに最も広い最大出力運転インピーダンス範囲を実現したDC電源
製品特徴
- ・最も低い蓄積エネルギー（出力1 kWにつき1 mJ未満）
- ・業界最高速のアーク遮断
- ・アーク遮断機能のパラメーターの設定変更が可能
- ・最高度のプロセス効率
- ・精密なプロセス制御
- ・最小限の運転・設置コスト
- ・タップ変更なし
- ・インピーダンス範囲 4:1
- ・ターゲット条件設定サイクル（TCC）―新たなターゲットの条件設定時間を短縮
- ・出力再現性： ±0.1%
- ・ジュールモード：最適なエネルギーを供給
主なアプリケーション
- ・スパッタ装置
- ・PECVD
- ・ハードコーティング
- ・プラズマ窒化処
- ・フラットパネルディスプレイ
- ・太陽電池セル
- ・装飾パネル
製品ラインナップ
| 製品画像 | シリーズ | 電力 | 特徴 |
|---|---|---|---|
|
Ascent® | 30kW,40kW,60kW |
最新のアーク制御（Arc Management System™）
技術を実装したDC電源 |
|
Pinnacle® |
6kW,10kW,
12kW,20kW 6kW Dual, 10kW Dual |
業界で最も低い蓄積エネルギー、
最高速のアーク遮断反応、 さらに最も広い最大出力運転インピーダンス範囲を 実現したDC電源 |
|
Solvix® |
3kW,6kW,
10kW,10kW Dual, 15kW,15kW Dual, 20kW,30kW,40kW |
多彩な出力電力、周波数や通信オプションが
選択可能なDC及びDCパルス電源 |
|
MDX(500W) | 500W |
真空環境での厳しい連続使用条件にも
耐えるように設計されたDC電源 |
|
MDX(1kW、1.5kW) | 1kW,1.5kW |
厳しい規制への適合、優れたアーク消去効果、
低い蓄積出力エネルギーを特長とするDC電源 |
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