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スパッタ用パルス電源

スパッタ用パルス電源

[Advanced Energy]
アドバンスドエナジー(AE)のPinnacle® Plus+は、使いやすさ、コスト節約効果、優れた柔軟性などの利点を持ち、さらに標準的なDC電源技術に各種製造プロセスで実績のあるパルスDC技術を融合させ、複雑で高価なAC電源ソリューションと比べてより高いデポジション率、より優れた再現性、ならびに卓越したフィルム品質を実現しています。

製品特徴

  • ・小型設計の一体型パッケージ
  • ・周波数範囲が調整可能(5~350 kHz)
  • ・可変デューティーサイクル(最大45%)
  • ・幅広い電圧範囲― シングルタップ、広いインピーダンス範囲
  • ・卓越したアーク制御
  • ・反応性スパッタリング閉ループ制御

主なアプリケーション

  • ・スパッタ装置
  • ・PECVD
  • ・ハードコーティング
  • ・プラズマ窒化処
  • ・フラットパネルディスプレイ
  • ・太陽電池セル
  • ・装飾パネル
シリーズ 周波数 電力 特徴
Pinnacle® Plus+
(ユニポーラパルス)
5~350kHz 5kW, 5kW Dual,
10kW,HALO
卓越したアーク制御技術により高いデポジション率、より優れた再現性、ならびに卓越したフィルム品質を実現できるパルス電源
Solvix® Arc 1~200Hz
(optional)
15kW,30kW 多彩な出力電力、周波数や通信オプションが選択可能でさらに最高品質のアーク制御技術により、より高品質な膜を生成することができるDC及びDCパルス電源
Solvix® Bias 1~350kHz (optional) 3kW,6kW,10kW,
15kW,30kW
Ascent® AMS - 30kW,40kW,
60kW
最新のアーク制御
(Arc Management System™)技術を実装したDC電源
Ascent® AMS
⇒Ascent® DMS Accessory
500Hz~50kHz
入力:400VAC
40kW,60kW,
120kW
最新のアーク制御
(Arc Management System™)技術を実装したAscent® AMSのDC出力をバイポーラパルス化するアクセサリ
Ascent® AP - 15kW,30kW Ascent® AP(Advaced Pulse)製品は、特許を取得しているパルステクノロジーを搭載したデュアル・シングルマグネトロンスパッタ用に開発されたパルス電源です。
Ascent® AP DMS(バイポーラ) 0.5~150kHz 30kW
Ascent® AP SMS(ユニポーラ) 0.5~150kHz 30kW

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