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アイソレータ内蔵水冷式出力ヘッド

アイソレータ内蔵水冷式出力ヘッド

[alter]
alter社のマグネトロン電源と容易に接続可能なアイソレータ内蔵水冷式出力ヘッドです。出力ヘッドにはマグネトロン、保護回路及びアラーム機能とアイソレータが内蔵されておりますので、ケーブル等をマグネトロン電源と接続するだけでそのまま使用可能です。
アイソレータが内蔵されているため、別途アイソレータを設けるよりコンパクトな形状にすることが可能であり、出力も1.2~3.0kW迄の幅広いラインナップを取り揃えています。

製品特徴

  • ・マイクロ波ヘッドの種類が豊富

主なアプリケーション

  • ・P-CVD,エッチング,アッシング用
  • ・半導体製造装置用
  • ・食品パッケージ,PETボトルへのDLC成膜用
  • ・各種工業用コーティング、熱処理プロセス用
  • ・プラズマを用いた殺菌/消毒用
  • ・化学分析プロセス用

製品ラインナップ

製品イメージ 型名 出力電力 周波数(GHz) 導波管フランジ サイズ
TI012 TI012 1.2kW@水冷 2.45 PDR26 280(H)×162(W)×229(L)mm
オープンフレームアイソレータ内蔵
進行波電力と反射波電力のモニタ・プローブ付
TI020 2.0kW@水冷 2.45 PDR26 280(H)×162(W)×229(L)mm
オープンフレームアイソレータ内蔵
進行波電力と反射波電力のモニタ・プローブ付
TI030/31 3.0kW@水冷 2.45 PDR26 280(H)×162(W)×229(L)mm
オープンフレームアイソレータ内蔵
進行波電力と反射波電力のモニタ・プローブ付
  • ※ 上記製品群は標準ラインナップです。
  • ※ お客様のご要求が標準製品と合わない場合はカスタムデザインにも対応しておりますので、弊社のRFエンジニアへお気軽にご相談下さい。
  • ※ 本製品の仕様は予告なく変更する場合があります。

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