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3スタブチューナ

3スタブチューナ

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WR340導波管と接続可能な2.45GHz帯の3スタブチューナです。3スタブチューナには手動式と自動式の2種類のタイプがあり双方共10kWのCWの電力迄対応可能です。
自動式チューナはステッピングモータで調整する方式を採用しており、更に簡易式インピーダンスアナライザ機能も搭載しております。
測定値は、PC上で確認することも可能であるため、研究用途での使用に最適な3スタブチューナです。

製品特徴

  • ・マイクロ波システム用付属部品が豊富
  • ・マイクロ波電源システムとしての納入が可能。すぐに使用可能

主なアプリケーション

  • ・P-CVD,エッチング,アッシング用
  • ・半導体製造装置用
  • ・食品パッケージ,PETボトルへのDLC成膜用
  • ・各種工業用コーティング、熱処理プロセス用
  • ・プラズマを用いた殺菌/消毒用
  • ・化学分析プロセス用

製品ラインナップ

製品イメージ 型名 概要
AG340A3 AG340A3 2.45GHz@10kW用 3スタブ自動チューナ(WR340ガイド用) 
3AG340M10 AG340M10 2.45GHz@10kW用 3スタブ手動チューナ(WR340ガイド用) 
  • ※ 上記製品群は標準ラインナップです。
  • ※ お客様のご要求が標準製品と合わない場合はカスタムデザインにも対応しておりますので、弊社のRFエンジニアへお気軽にご相談下さい。
  • ※ 本製品の仕様は予告なく変更する場合があります。

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