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リニアパワーセンサー

リニアパワーセンサー

[alter]
2.45GHz帯のパワーセンサです。パワーセンサは入力パワーを0-10Vdcで出力します。パワーセンサーには1出力と2出力の2種類のタイプがあります。
単体でも使用可能ですが、alter社が提供致します、アイソレータと方向性結合器と組み合わせてご使用頂くことでコンパクトサイズに収容することも可能です。

製品特徴

  • ・マイクロ波システム用付属部品が豊富
  • ・マイクロ波電源システムとしての納入が可能。すぐに使用可能

主なアプリケーション

  • ・P-CVD,エッチング,アッシング用
  • ・半導体製造装置用
  • ・食品パッケージ,PETボトルへのDLC成膜用
  • ・各種工業用コーティング、熱処理プロセス用
  • ・プラズマを用いた殺菌/消毒用
  • ・化学分析プロセス用

製品ラインナップ

製品イメージ 型名 概要
リニアパワーセンサー RD8400 2.45GHz用 リニアパワーセンサー
  • ※ 上記製品群は標準ラインナップです。
  • ※ お客様のご要求が標準製品と合わない場合はカスタムデザインにも対応しておりますので、弊社のRFエンジニアへお気軽にご相談下さい。
  • ※ 本製品の仕様は予告なく変更する場合があります。

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