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アイソレータ

アイソレータ

[alter]
2.45GHz帯のアイソレータです。アイソレータは負荷から反射してきたマイクロ波が再びマグネトロン電源に戻らないようにします。Alter社のアイソレータは全て水冷式であり3~10kW迄対応可能なアイソレータを取り揃えています。
また、Launcher内蔵のアイソレータも取り揃えております。

製品特徴

  • ・マイクロ波システム用付属部品が豊富
  • ・マイクロ波電源システムとしての納入が可能。すぐに使用可能

主なアプリケーション

  • ・P-CVD,エッチング,アッシング用
  • ・半導体製造装置用
  • ・食品パッケージ,PETボトルへのDLC成膜用
  • ・各種工業用コーティング、熱処理プロセス用
  • ・プラズマを用いた殺菌/消毒用
  • ・化学分析プロセス用

製品ラインナップ

製品イメージ 型名 概要
アイソレータ VHU210 2.45GHz用 3kWアイソレータ
VHU200C 2.45GHz用 6kWアイソレータ
VHU200E 2.45GHz用 10kWアイソレータ
GIS03K340 2.45GHz用 3kWアイソレータ&ランチャー
  • ※ 上記製品群は標準ラインナップです。
  • ※ お客様のご要求が標準製品と合わない場合はカスタムデザインにも対応しておりますので、弊社のRFエンジニアへお気軽にご相談下さい。
  • ※ 本製品の仕様は予告なく変更する場合があります。

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