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一体型電源

一体型電源マグネトロン電源

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マグネトロン電源と出力ヘッドが一つの筺体になっているため取り扱いが便利です。
コンパクトな形状でありながら、最大で700WのCW出力が可能です。
出力導波管にはWR340を採用しており、このまま負荷と接続させ動作させることも可能であるため、実験・研究用途に最適なマイクロ波電源です。

製品特徴

  • ・スイッチングテクノロジーによりコンパクトな電源サイズを実現
  • ・全ての電力でスイチング方式のマグネトロン電源が利用でき、92%の高効率を実現
  • ・高出力ユニットにもスイッチング方式のマグネトロン電源を採用し、コンパクトサイズを実現
  • ・915MHz、2.45GHzの両方をラインナップ

主なアプリケーション

  • ・P-CVD,エッチング,アッシング用
  • ・半導体製造装置用
  • ・食品パッケージ,PETボトルへのDLC成膜用
  • ・各種工業用コーティング、熱処理プロセス用
  • ・プラズマを用いた殺菌/消毒用
  • ・化学分析プロセス用

製品ラインナップ

製品イメージ 型名 出力電力 サイズ 重量(kg) 入力電圧 対応
マグネトロン
GM240 GM240 700W@CW 205(H)×146(W)×600(L)mm 14 単相 AC230V±10% 1000W(2M244)
  • (*1) リモートコントロールにより出力調整可能
  • (*2) パルス周波数:10Hz~1kHz、パルスDuty cycle:20%(max.)
  • (*3) 多数販売のみに対応

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