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可変電源

マグネトロン電源可変電源

[alter]
マイクロ波出力を可変することが可能です。
本マグネトロン電源は出力ヘッドを含んでおりませんので、alter社の出力ヘッドと接続することも可能ですし、既存の出力ヘッド(マグネトロン)へ接続することも可能であるため設計に自由度を待てるのが特長です。
マイクロ波出力も0.3~90kW迄の幅広いラインナップを揃えているマグネトロン電源です。

製品特徴

  • ・スイッチングテクノロジーによりコンパクトな電源サイズを実現
  • ・全ての電力でスイチング方式のマグネトロン電源が利用でき、92%の高効率を実現
  • ・高出力ユニットにもスイッチング方式のマグネトロン電源を採用し、コンパクトサイズを実現
  • ・915MHz、2.45GHzの両方をラインナップ

主なアプリケーション

  • ・P-CVD,エッチング,アッシング用
  • ・半導体製造装置用
  • ・食品パッケージ,PETボトルへのDLC成膜用
  • ・各種工業用コーティング、熱処理プロセス用
  • ・プラズマを用いた殺菌/消毒用
  • ・化学分析プロセス用

製品ラインナップ

製品イメージ 型名 対応マグネトロン
出力電力
冷却方式 出力制御方式 入力電圧(*6) サイズ 重量(kg)
可変出力マイクロ波電源 CM130 0.3kW@2.45GHz
可変出力(*1)
強制空冷 アノード電流
ループ(アナログ)
1相
100~250Vac
284(H)×190(W)
×127(L)mm
3.7
CM340 09/1kW@2.45GHz
可変出力(*1)
強制空冷 アノード電流
ループ(アナログ)
1相
230Vac±10%
178(H)×180(W)
×280(L)mm
6
CM440 1.2kW@2.45GHz
可変出力(*1)
強制空冷 アノード電流
ループ(アナログ)
1相
230Vac±10%
178(H)×180(W)
×280(L)mm
6

PMシリーズ 製品ラインナップ/仕様

製品イメージ 型名 対応マグネトロン
出力電力
冷却方式 出力制御方式 入力電圧(*6) サイズ 重量
(kg)
可変出力マイクロ波電源 PM740T 2kW@CW@2.45GHz
8kW@Pulse@2.45GHz(*3)
可変出力(*4)
強制空冷 アノード電流ループ
(CPUによるパルス制御)
3相
400Vac±10%
133(H)×475(W)
×440(L)mm
20

SMシリーズ 製品ラインナップ/仕様

製品イメージ 型名 対応マグネトロン
出力電力
冷却方式 出力制御方式 入力電圧(*6) サイズ 重量
(kg)
可変出力マイクロ波電源 SM445G 1.25kW@2.45GHz
可変出力(*2)
強制空冷 アノード電流
ループ(アナログ)
1相
230Vac±10%
85(H)×450(W)
×375(L)mm
11
SM745G 1.9kW@2.45GHz
可変出力(*2)
強制空冷 アノード電流
ループ(アナログ)
1相
230Vac±10%
85(H)×450(W)
×375(L)mm
11
SM840E 2kW@2.45GHz
可変出力(*4)
強制空冷 アノード電流
ループ(CPU)
1相
230Vac±10%
85(H)×450(W)
×420(L)mm
12.2
SM1150 3kW@2.45GHz
可変出力(*4)
強制空冷 アノード電流
(CPU)
3相
208Vac±10%
3相
400Vac±10%
130(H)×450(W)
×420(L)mm
20
SM1250 3kW@2.45GHz
可変出力(*5)
強制空冷 CPUによるパワーループ
(インラッシュ・
カレント無し)
3相
208Vac±10%
130(H)×450(W)
×420(L)mm
21
SM1280 6kW@2.45GHz
可変出力(*5)
強制空冷 DSPによるパワーループ
(インラッシュ・
カレント無し)
3相
208Vac±10%
3相
400Vac±10%
3相
480Vac±10%
301(H)×444(W)
×482(L)mm
35
SM1690 10kW@2.45GHz
可変出力(*5)
強制空冷 CPUによるパワーループ
(インラッシュ・
カレント無し)
3相
400Vac±10%
301(H)×444(W)
×482(L)mm
35

MPSシリーズ 製品ラインナップ/仕様

製品イメージ 型名 対応マグネトロン
出力電力
冷却方式 出力制御方式 入力電圧(*6) サイズ 重量
(kg)
可変出力マイクロ波電源 MPS24 15kW@2.45GHz/
915MHz
可変出力(*4)
水冷&強制空冷 CPUによるパワーループ
(インラッシュ・
カレント無し)
3相
400Vac±10%
453(H)×475(W)
×440(L)mm
71
MPS48 30kW@2.45GHz/
915MHz
可変出力(*4)
水冷&強制空冷 CPUによるパワーループ
(インラッシュ・
カレント無し)
3相
400Vac±10%
3相
480Vac±10%
453(H)×475(W)
×440(L)mm
126
MPS72 50kW@915MHz
可変出力(*4)
水冷&強制空冷 CPUによるパワーループ
(インラッシュ・
カレント無し)
3相
400Vac±10%
3相
480Vac±10%
別途ご相談下さい 181
MPS96 75kW@915MHz
可変出力(*4)
水冷&強制空冷 CPUによるパワーループ
(インラッシュ・
カレント無し)
3相
400Vac±10%
3相
480Vac±10%
別途ご相談下さい 236
MPS120 90kW@915MHz
可変出力(*4)
水冷&強制空冷 CPUによるパワーループ
(インラッシュ・
カレント無し)
3相
400Vac±10%
3相
480Vac±10%
別途ご相談下さい -
  • (*1) 0~10Vのアナログ信号により、出力を 10~100%可変可能 (リモート制御のみ可能)
  • (*2) 0~10Vのアナログ信号により、出力を 10~100%可変可能 (手動/リモート制御可能)
  • (*3) パルス周波数:0.4~10KHz、パルスDuty Cycle:20%(max)
  • (*4) 0~10Vのアナログ信号により、出力を10~100%可変可能 (手動/リモート制御)。または RS232C 制御により出力を 10~100%可変可能
  • (*5) 0~10Vのアナログ信号により、出力を10~100%可変可能(手動/リモート制御)。または RS232C制御により出力を10~100%可変可能。(オプション:CANopen/Modbus/TCP/Profibus)
  • (*6) 230V電源も400V電源も -10%以下でも動作致しますがリップルが大きくなりますので、 これがマイクロ波出力に影響しマイクロ波のリップルが大きくなります。 また+10%超でも使用可能です。 高い電源電圧に強い理由は、スイッチングトランジスタに208V電源は600Vを、 400V電源は1200Vの大きな定格マージンのタイプを使用しているからです。

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