可変電源

製品特徴

• ・スイッチングテクノロジーによりコンパクトな電源サイズを実現
• ・全ての電力でスイチング方式のマグネトロン電源が利用でき、92%の高効率を実現
• ・高出力ユニットにもスイッチング方式のマグネトロン電源を採用し、コンパクトサイズを実現
• ・915MHz、2.45GHｚの両方をラインナップ

主なアプリケーション

• ・P-CVD,エッチング,アッシング用
• ・半導体製造装置用
• ・食品パッケージ,PETボトルへのDLC成膜用
• ・各種工業用コーティング、熱処理プロセス用
• ・プラズマを用いた殺菌/消毒用
• ・化学分析プロセス用

PMシリーズ　製品ラインナップ/仕様

製品イメージ	型名	対応マグネトロン 出力電力	冷却方式	出力制御方式	入力電圧(※6)	サイズ	重量 (kg)
	PM740T	2kW@CW@2.45GHz 8kW@Pulse@2.45GHz(※3) 可変出力(※4)	強制空冷	アノード電流ループ (CPUによるパルス制御)	3相 400Vac±10%	133(H)×475(W) ×440(L)mm	20

SMシリーズ　製品ラインナップ/仕様

製品イメージ	型名	対応マグネトロン 出力電力	冷却方式	出力制御方式	入力電圧(※6)	サイズ	重量 (kg)
	SM445G	1.25kW@2.45GHz 可変出力(※2)	強制空冷	アノード電流 ループ(アナログ)	1相 230Vac±10%	85(H)×450(W) ×375(L)mm	11
	SM745G	1.9kW@2.45GHz 可変出力(※2)	強制空冷	アノード電流 ループ(アナログ)	1相 230Vac±10%	85(H)×450(W) ×375(L)mm	11
	SM840E	2kW@2.45GHz 可変出力(※4)	強制空冷	アノード電流 ループ(CPU)	1相 230Vac±10%	85(H)×450(W) ×420(L)mm	12.2
	SM1150	3kW@2.45GHz 可変出力(※4)	強制空冷	アノード電流 (CPU)	3相 208Vac±10% 3相 400Vac±10%	130(H)×450(W) ×420(L)mm	20
	SM1250	3kW@2.45GHz 可変出力(※5)	強制空冷	CPUによるパワーループ (インラッシュ・ カレント無し)	3相 208Vac±10%	130(H)×450(W) ×420(L)mm	21
	SM1280	6kW@2.45GHz 可変出力(※5)	強制空冷	DSPによるパワーループ (インラッシュ・ カレント無し)	3相 208Vac±10% 3相 400Vac±10% 3相 480Vac±10%	301(H)×444(W) ×482(L)mm	35
	SM1690	10kW@2.45GHz 可変出力(※5)	強制空冷	CPUによるパワーループ (インラッシュ・ カレント無し)	3相 400Vac±10%	301(H)×444(W) ×482(L)mm	35

MPSシリーズ 製品ラインナップ/仕様

製品イメージ	型名	対応マグネトロン 出力電力	冷却方式	出力制御方式	入力電圧(※6)	サイズ	重量 (kg)
	MPS24	15kW@2.45GHz/ 915MHz 可変出力(※4)	水冷＆強制空冷	CPUによるパワーループ (インラッシュ・ カレント無し)	div>3相 400Vac±10%	453(H)×475(W) ×440(L)mm	71
	MPS48	30kW@2.45GHz/ 915MHz 可変出力(※4)	水冷＆強制空冷	CPUによるパワーループ (インラッシュ・ カレント無し)	3相 400Vac±10% 3相 480Vac±10%	453(H)×475(W) ×440(L)mm	126
	MPS72	50kW@915MHz 可変出力(※4)	水冷＆強制空冷	CPUによるパワーループ (インラッシュ・ カレント無し)	3相 400Vac±10% 3相 480Vac±10%	別途ご相談下さい	181
	MPS96	75kW@915MHz 可変出力(※4)	水冷＆強制空冷	CPUによるパワーループ (インラッシュ・ カレント無し)	3相 400Vac±10% 3相 480Vac±10%	別途ご相談下さい	236
	MPS120	90kW@915MHz 可変出力(※4)	水冷＆強制空冷	CPUによるパワーループ (インラッシュ・ カレント無し)	3相 400Vac±10% 3相 480Vac±10%	別途ご相談下さい	-

• (※1)0～10Vのアナログ信号により、出力を10～100%可変可能(リモート制御のみ可能)
• (※2)0～10Vのアナログ信号により、出力を10～100%可変可能(手動/リモート制御可能)
• (※3)パルス周波数：0.4～10KHz、パルスDutyCycle:20%(max)
• (※4)0～10Vのアナログ信号により、出力を10～100%可変可能（手動/リモート制御）。またはRS232C制御により出力を10～100%可変可能
• (※5)0～10Vのアナログ信号により、出力を10～100%可変可能(手動/リモート制御)。または RS232C制御により出力を10～100%可変可能。(オプション：CANopen/Modbus/TCP/Profibus)
• (※6)230V電源も400V電源も-10%以下でも動作致しますがリップルが大きくなりますので、これがﾏｲｸﾛ波出力に影響しマイクロ波のリップルが大きくなります。また+10%超でも使用可能です。高い電源電圧に強い理由は、スイッチングトランジスタに208V電源は600Vを、400V電源は1200Vの大きな定格マージンのタイプを使用しているからです。

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