サブストレートとイオンの相互作用の計測にはSemion、Vertex、Quantum、Speciesの4つのシステムがあります。
ユーザのアプリケーションに最適なイオンエネルギーとイオンフラックスを見つけ出すために、リアルタイムでプラズマ入力パラメータを調整して測定ができます。
Semion System
多数のセンサーでウエハ基板表面を叩くイオンエネルギーの均一性を測定
Vertex System
ウエハ表面を叩くイオンの入射角分の均一性を、プラズマ・リアクタ内の複数の位置で測定
Quantum System
プラズマ･リアクター内のｳｴﾊ表面を叩くｲｵﾝ･ﾆｭｰﾄﾗﾙ･ﾌﾗｸｼｮﾝを複数の位置で測定
Species System
多数の小型化されたセンサを使い、ウエハ表面を叩くイオン種（質量）の均一性を測定
