サブストレートとイオンの相互作用

サブストレートとイオンの相互作用の計測にはSemion、Vertex、Quantum、Speciesの4つのシステムがあります。
ユーザのアプリケーションに最適なイオンエネルギーとイオンフラックスを見つけ出すために、リアルタイムでプラズマ入力パラメータを調整して測定ができます。