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サブストレートとイオンの相互作用

サブストレートとイオンの相互作用

サブストレートとイオンの相互作用の計測にはSemion、Vertex、Quantum、Speciesの4つのシステムがあります。
ユーザのアプリケーションに最適なイオンエネルギーとイオンフラックスを見つけ出すために、リアルタイムでプラズマ入力パラメータを調整して測定ができます。

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