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静電チャック

試料台の上に誘電層とウエーハ間に電圧を印加し、両者の間に発生した静電気力によってウエーハを吸着する。

製品ラインナップ

製品イメージ 製品名 説明
62V~40kV、4W~30Wまでの吸着用単極性モジュール電源と両極性(最大5kV)アンプ電源。UL、IEC規格取得品。
倍電圧、保護用高電圧ダイオードとしてご使用可能。
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