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フローティング電源
[ウルトラボルト]
フローティング電源は、入出力間を連続15kV/30kVの絶縁耐圧を持った、高精度な低電圧出力/制御の為のフローティング電源です。本電源は最大30kVを重畳することが可能となります。
I/O-R/B機能はデジタル、アナログ信号にて制御及びリードバック可能で絶縁された製品の信号を容易に扱うことが可能です。
製品特徴
■FLシリーズ
- ・絶縁耐圧：連続15kV
- ・DC漏れ電流：10nA未満
- ・1次－2次結合容量：40pF未満
- ・3つの安定化された低電圧フローティング出力
- ・絶縁デジタルI/O、絶縁アナログI/O
- ・認証規格：UL,CUL,IEC-60950-1,Demko
- ・RoHs 対応
■EFLシリーズ
- ・高精度アナログコントロール
- ・絶縁耐圧：連続15kV/30kV
- ・DC漏れ電流：10nA未満
- ・1次－2次結合容量：40pF未満
- ・4つの安定化された低電圧フローティング出力
- ・フローティング用絶縁デジタルI/O、絶縁アナログI/O
- ・RoHs 対応
主なアプリケーション
- ・静電チャック
- ・FIB
- ・SEM
- ・TEM
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