Bdot Probe
Bdotプローブはプラズマ反応炉内の磁束の時間変化率を測定します。
測定項目
測定機能
機器構成
- 電気仕様、ソフト
- RF プラズマ: 0.4MHz ～ 100MHz広帯域プローブ
- プラズマ電力源: RF, 連続出力, パルスプラズマ
- 時間分解能: 1µS
- プローブ
- 標準300mm （カスタム可）
- プローブのクリーニング
- 化学的にクリーニング、取り換え可
- プロ―ブの空間移動
- リニアドライブ機構で0.025mm ステップで自動的に移動
- 真空フィードスルー
- KF, CF またはカスタム仕様の真空コネクタ
