Langmuir Probe
ラングミュアプローブは、バルクプラズマにおいてプラズマのパラメータを測る際に、最も一般的で広く使われているプラズマ診断・特性の測定器の1つです。
測定項目
- ・フローティング電位
- ・プラズマ電位
- ・プラズマ密度
- ・イオン電流密度
- ・電子エネルギー分布機能 (EEDF)
- ・電子温度
測定機能
機器構成
- 電気仕様、ソフト
- 電圧スキャン範囲: -150V ～ +150V
- 電流範囲: 15nA ～ 1A
- 時間分解能: 12.5nS
- プローブ
- 1システムにダブルとシングル
- 標準： 300mm（カスタム可）
- プローブのクリニーニング
- 自動、交換可
- プローブの空間移動
- リニアドライブ機構で0.025mmステップで自動的に移動
- 真空フィードスルー
- KF, CF 又はカスタム仕様の真空コネクタ
