静電チャック│半導体分野│アプリケーションから探す│ゼネラル物産株式会社

静電チャック

試料台の上に誘電層とウエーハ間に電圧を印加し、両者の間に発生した静電気力によってウエーハを吸着する。

製品イメージ	製品名	説明
	小型電源超小型電源高電圧アンプ 19インチラック電源	62V～40kV、4W～30Wまでの吸着用単極性モジュール電源と両極性(最大5kV)アンプ電源。UL、IEC規格取得品。
	高電圧ダイオードセラミックコンデンサ	倍電圧、保護用高電圧ダイオードとしてご使用可能。

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