試料台の上に誘電層とウエーハ間に電圧を印加し、両者の間に発生した静電気力によってウエーハを吸着する。
製品イメージ | 製品名 | 説明 |
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62V~40kV、4W~30Wまでの吸着用単極性モジュール電源と両極性(最大5kV)アンプ電源。UL、IEC規格取得品。 | |
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倍電圧、保護用高電圧ダイオードとしてご使用可能。 |
静電チャック | 半導体製造装置 | プラズマCVD/エッチング |
ICファイナルテスト | ICエージング | 実機ボード用テストソケット |
蒸着装置 | 検査装置 | イオンポンプ |
イオン注入装置 | 電子顕微鏡(SEM/TEM) | 露光装置 |
RFパラメータ測定器 |