目的とする元素のイオンを発生させ、イオンを電気的に加速し、対象物であるターゲットにイオン注入する加工方法。
製品イメージ | 製品名 | 説明 |
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高電圧・高電力タイプ。加速電源、引出し電源として使用可能。最大50kVで1kW~50KWまで対応可能。 | |
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コイル用途等大電流用途として7.5V~600V、200W~15kWまで対応可能。 | |
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高電圧・大電流タイプ。フィラメント、加速、引出し電源として使用可能。最大100kVの高電圧タイプや最大100Aまで対応可能。 | |
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保護用高電圧ダイオードとして使用可能。 | |
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標準で5×10-4電流安定度/リップル精度を実現した電磁石用スイッチングタイプ直流電源。 |
静電チャック | 半導体製造装置 | プラズマCVD/エッチング |
ICファイナルテスト | ICエージング | 実機ボード用テストソケット |
蒸着装置 | 検査装置 | イオンポンプ |
イオン注入装置 | 電子顕微鏡(SEM/TEM) | 露光装置 |
RFパラメータ測定器 |