金属や酸化物などを蒸発させて、素材表面に付着させる表面処理、薄膜形成方法の一種。
製品イメージ | 製品名 | 説明 |
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小型・高精度なバイアス電源として使用可能。UL、IEC規格取得品。 | |
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並列運転により高出力可能。電源単体で最大50kVで1kW~50KWまで対応可能。 | |
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コイル用途等大電流用途として7.5V~600V、200W~15kWまで対応可能。 | |
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大電流タイプ(最大100V/100A)、高電圧(100kV/5kW)まで対応可能。 | |
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単相・三相整流器や保護用整流器として使用可能。 | |
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高電圧抵抗、10TΩまでの面実装高抵抗対応可能。 |
静電チャック | 半導体製造装置 | プラズマCVD/エッチング |
ICファイナルテスト | ICエージング | 実機ボード用テストソケット |
蒸着装置 | 検査装置 | イオンポンプ |
イオン注入装置 | 電子顕微鏡(SEM/TEM) | 露光装置 |
RFパラメータ測定器 |