パワーMOSFET、IGBT、ダイオード等各種パワーディバイス向けの各種電気的評価・検査装置。
製品イメージ | 製品名 | 説明 |
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コンデンサ充電向け小型電源として250W使用可能。装置組込みタイプとして最適なサイズ。 | |
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高充電率と再現性を実現した高電力電源。最大50kVで1kW~50KWまで対応可能。 | |
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定電圧定電流動作可能な高電圧タイプ(100kV/5kW)や大電流タイプ(最大100V/100A)。 | |
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倍電圧、保護用高電圧ダイオードとして使用可能。 | |
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高電圧抵抗、10TΩまでの面実装高抵抗対応可能。 |
静電チャック | 半導体製造装置 | プラズマCVD/エッチング |
ICファイナルテスト | ICエージング | 実機ボード用テストソケット |
蒸着装置 | 検査装置 | イオンポンプ |
イオン注入装置 | 電子顕微鏡(SEM/TEM) | 露光装置 |
RFパラメータ測定器 |