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イオンポンプ

アノード-カソード間に電圧をかけ放電が発生させ電子が気体分子と衝突してイオンを生ずる。スパッタ作用にて酸素や窒素、不活性ガスを吸着し真空度を上げる。

製品イメージ	製品名	説明
	キャパシタチャージング用電源(ウルトラボルト社) 19インチラック電源(ウルトラボルト社/SuNAM社)	スパッタポンプ電極用として6kV/250Wまで使用可能。
	直流大電流電源高電圧電源プラズマ用直流電源	スパッタポンプ電極用として10kV/200Wまで使用可能。
	高電圧ダイオードセラミックコンデンサ	保護用高電圧ダイオードとして使用可能。
	面実装抵抗器リード線型抵抗器面実装コンデンサ面実装型温度センサ	10TΩまでの面実装高抵抗対応可能。

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