アノード-カソード間に電圧をかけ放電が発生させ電子が気体分子と衝突してイオンを生ずる。スパッタ作用にて酸素や窒素、不活性ガスを吸着し真空度を上げる。
製品イメージ | 製品名 | 説明 |
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スパッタポンプ電極用として6kV/250Wまで使用可能。 | |
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スパッタポンプ電極用として10kV/200Wまで使用可能。 | |
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保護用高電圧ダイオードとして使用可能。 | |
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10TΩまでの面実装高抵抗対応可能。 |
静電チャック | 半導体製造装置 | プラズマCVD/エッチング |
ICファイナルテスト | ICエージング | 実機ボード用テストソケット |
蒸着装置 | 検査装置 | イオンポンプ |
イオン注入装置 | 電子顕微鏡(SEM/TEM) | 露光装置 |
RFパラメータ測定器 |