RFパラメータ測定器│半導体分野│アプリケーションから探す│ゼネラル物産株式会社

RFパラメータ測定器

チャンバ装置のインピーダンスを測定することで、RF電源とチャンバー間の整合が容易に可能となる。更に高調波成分を測定することでプロセス変化を認識することが可能です。

製品イメージ	製品名	説明
	Semion System Vertex System Quantum System Species System	サブストレートとイオンの相互作用の計測ウエハ基板表面を叩くイオンエネルギーの均一性/イオンの入射角分の均一性/イオン・ニュートラル・フラクション/イオン種（質量）の均一性を測定
	Langmuir Probe Plato Probe Bdot Probe	バルクプラズマパラメータ測定汎用的なプローブの他に、反応し易い絶縁ガスが使用されていてもプラズマ中で使用可能なプローブ、磁束の時間変化率を測定するプローブがあります。
	Octiv Range： - Octiv Suite - Octiv Poly - Octiv Mono	プラズマ電力の測定プラズマの電力測定及びプラズマ診断を行うインラインで使用されるシステム

インピーダンス測定や高調波成分測定を探すならゼネラル物産: ゼネラル物産は、世界中のメーカーの製品を扱っている総合商社です。
製品の正しい名称がご不明な場合でも、製品カテゴリ、使用用途それぞれの項目からインピーダンス測定や高調波成分測定を探していただくこともできます。
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